穿过电科（kē）装备（bèi）北京烁科中科（kē）信公司制造中心的风（fēng）淋（lín）系统（tǒng），整（zhěng）条（tiáo）离子注（zhù）入机（jī）研制产（chǎn）线映入眼（yǎn）帘，一台台设备完成装（zhuāng）配调试后，输送（sòng）至各（gè）集成电路先进产线，参（cān）与“中国（guó）芯”制造（zào）。

　　北京烁科中科信自成（chéng）立（lì）之日起，就（jiù）以攻克离子注入装备关键技术瓶颈，支撑（chēng）我国电子元器件制造（zào）工艺装（zhuāng）备自立自强为主责，以离子注入机（jī）装备研发与产业化为主业，全力保（bǎo）障我国产业链（liàn）供应链安全与（yǔ）稳定，成功入选第五批（pī）国家级专精（jīng）特新“小巨人”企业（yè）培（péi）育名单。

　　离子注（zhù）入机的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子，按照工艺（yì）要求（qiú）以精准方式完成（chéng）注（zhù）入。概念虽仅有短短一句（jù）话，但其难度不亚于（yú）以（yǐ）飞（fēi）机的速度一次成功地完成（chéng）侧方位停车，因此，对离子注入机的综合性（xìng）能要求极为严（yán）格。

　　“设备（bèi）研制毫无经验（yàn）可循，攻（gōng）关过（guò）程是一场孤军奋战的战役，纵是如此，我们也要一往无前（qián）。”离（lí）子（zǐ）注入机（jī）研发（fā）团队负责人表示（shì）。

从“0”到全（quán）系列

　　2003年，一群意（yì）气风发的青年变身（shēn）“背包客”，坐上（shàng）绿皮车远赴他乡，扎根北京，投身（shēn）离（lí）子注（zhù）入机事（shì）业。经历了“摸着（zhe）石头过河”的（de）艰（jiān）辛，突破了艰苦创业的困境，取得技术研发的成果（guǒ）。我国第一台国产中束流离子注入整机（jī）于2008年研制成功，实现从“0”到“1”的突破。

　　团队愈（yù）战愈勇（yǒng），连（lián）续突破了离子源、离子（zǐ）束传输与控制等五（wǔ）大关键技术，攻克了离子注入机的技术瓶（píng）颈（jǐng），完成了（le）第三代化合物（wù）半（bàn）导（dǎo）体离子注入机及大束流离子注入机研制，2021年，成（chéng）功将高能离子注入机交付产线（xiàn），形成了全系列（liè）国产离子注入机产品格局，实现国产（chǎn）离子注入装备的自主创新发展。

从“0”到全覆（fù）盖

　　“28纳米几乎是注入（rù）工艺中最为经典（diǎn）、较为复杂的制程，也是注入工序中需求（qiú）最多及生命周期（qī）最长的节（jiē）点（diǎn）。”

       为（wéi）保障（zhàng）我（wǒ）国集成电路产（chǎn）线需求，北京烁科中科信（xìn）向28纳米工艺节点发起挑战，不仅（jǐn）要突（tū）破（pò）该（gāi）节点，还要（yào）实现全系列（liè）产品工艺全覆盖。

　　“28纳米（mǐ）工艺对注入角度、注入（rù）剂量（liàng）精度有严（yán）格要求，注入期间，设备软硬（yìng）件要紧密配合（hé），需根据不同注入区域（yù）实时对注入剂量进行调整，稍有偏颇，良（liáng）率将达不（bú）到（dào）产线（xiàn）要求。”

　　由于厂内设备无法真（zhēn）实模拟出（chū）产线注片环境（jìng），只能在（zài）客（kè）户（hù）端（duān）进行测试，攻关期间（jiān），工艺工程师和设备工程（chéng）师轮番24小（xiǎo）时驻守客户端，只为将最新测试数据及时传输，通（tōng）过数据分析，对（duì）剂量和角度进行一遍（biàn）又一（yī）遍地（dì）调整。

　　现下，北京烁科（kē）中科信中束（shù）流及大束流设备均已达（dá）成工（gōng）艺指（zhǐ）标，且工艺水（shuǐ）准经过了先进集成（chéng）电路产线验证，两种设备（bèi）产（chǎn）线晶圆制备累（lèi）计超过2000万片。高能离子（zǐ）注（zhù）入（rù）机作为刚上线不久（jiǔ）的兆伏级（jí）设（shè）备同样打通了28纳米（mǐ）节点，且与同类型设备（bèi）相比，能量范（fàn）围更（gèng）宽、注入均一性能更好（hǎo）。

　　从仅有十余人的小组，到如（rú）今人（rén）才济济（jì）的庞（páng）大团队，北京（jīng）烁科中科（kē）信一往（wǎng）无前的初心（xīn）从未改（gǎi）变，正通过模（mó）组（zǔ）式交付方式让装备制造提速，以科学的（de）科（kē）研体（tǐ）系（xì）使研（yán）发流程规范（fàn），通过与市场接轨提升装备品质，让更（gèng）多电（diàn）科制造的（de）离子注入机（jī）服务于“中（zhōng）国芯”制造，切实保（bǎo）障我国集（jí）成电（diàn）路制（zhì）造（zào）行业在（zài）成熟和先进制程领域的生产安全，为中（zhōng）国半导体产（chǎn）业高速发展赋（fù）能。